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三星EUV極紫外光刻工廠量產(chǎn):7/6/5/4/3nm都能用

        【每日科技網(wǎng)】
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  三星宣布,位于韓國京畿道華城市的V1工廠已經(jīng)開始量產(chǎn)7nm 7LPP、6nm 6LPP工藝,這也是全球第一座專門為EUV極紫外光刻工藝打造的代工廠。

  據(jù)介紹,三星7LPP、6LPP工藝主要生產(chǎn)先進的移動SoC芯片,本季度內(nèi)陸續(xù)出貨,具體客戶均未披露,不過看起來7LPP會是對外代工主力,6LPP則可能是三星自用,或者僅限特定客戶。

  按照三星的說法,6LPP相比于7LPP可將晶體管密度增加約10%,并降低功耗,但彼此互相兼容,針對7LPP工藝設(shè)計的IP可以直接復(fù)用,從而大大降低成本。

  在路線圖上,三星還規(guī)劃了5LPE、4LPE、3GAE、3GAP等更先進的工藝,都會使用EUV極紫外光刻,其中5nm、4nm都可以算作7nm工藝的深度升級,3nm則是全新設(shè)計。

  高通剛剛發(fā)布的第三代5G基帶驍龍X60就采用三星5nm工藝制造,3nm則會在今年完成開發(fā),放棄使用多年的FinFET晶體管架構(gòu)。

  三星V1工廠2018年2月開工建設(shè),2019年下半年開始試產(chǎn),未來將迅速擴大產(chǎn)能,到今年底7LPP EUV和更新工藝的總產(chǎn)能將是去年底的三倍,累計投資也將達60億美元。

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